数千個以下の原子で構成されるナノクラスターは、わずかなサイズの違いによって多様な性質を示す機能物質群です。ナノクラスターの大量かつ精密な合成手法として、気相高強度ナノクラスター源“Nanojima^®”をアヤボ社と共同開発しました。この手法およびこれを用いた新規ナノ物質の合成の最前線を紹介します。

光学材料のナノスケール切削や研削によって生じる加工表面下のダメージまで解析し、光学素子の製造方法を検討しています。また、加工状態を認識して加工力や加工振動を制御する知能化加工機械の開発に取り組んでいます。本ブースでは、超精密加工で製作した光学素子の展示、知能化加工機械の加工力制御のデモを行います。