高付加価値ものづくりを実現するために、マイクロ・ナノ領域での材料除去・変形および物性制御に基づく高精度・高効率・省エネ・省資源の加工技術の研究開発に取り組んでいます。特に硬脆材料の超精密加工、3次元マイクロ・ナノ構造体の高速形成、レーザ表面処理および欠陥修復を中心に新技術の提案を行っています。

電気的に粘着性を制御できる"電気粘着エラストマ（EAG）"の開発研究に着手してから10年が経ちました。10年前に比べ性能も100倍以上向上し、耐傷性も高いEAGが開発され、応用範囲も広がりをみせています。今年は、様々な応用デバイスを展示し、デモを交えてご説明致します。

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）薄膜は、摩擦特性、ガスバリア性に優れ、自動車や食品産業をはじめ、多くの分野で実用化されています。DLC薄膜は、抗血栓性にも優れ、付加価値の高い埋め込み型ステントへの応用も進んでいます。ここでは当研究室で開発したフッ素を添加したF-DLC薄膜について紹介いたします。

高純度ダイヤモンド中に添加した不純物を用いて、既存装置の性能を遥かに超える超高感度ナノ磁場センサーの開発に取り組んでいます。現在のMRIに取って代わるバイオイメージング機器の開発を目指しています。

数個から数百個の原子・分子から構成され、特異な性質・機能を有する超微粒子＝ナノクラスターを、大量かつ精密に合成する新しい方法を開発しました。1．高出力マグネトロン・スパッタリング法による金属ナノクラスターの乾式合成。2．マイクロ流体反応器を用いた有機保護金属ナノクラスターの湿式精密合成。

機械や構造物に利用される金属は、その高機能化を目的として、様々な表面改質処理を施して使用されています。その目的は、疲労強度や耐食性、耐摩耗特性など様々です。ここでは、それらの特性向上を目的として近年開発した、新しい表面改質プロセスについて紹介いたします。

超撥水・超撥油性を用いて水・油などの液体に対してまったく濡れない、防汚性を持つ表面を簡潔な方法で作製しました。作製した表面は水・サラダ油・醤油・マヨネーズ・ケチャップなどの様々な表面張力の液体に対して高い防汚性を示しました。また、実用化に向けての課題となる透明性及び耐久性をさらに向上させました。