本研究では、従来のMEMSアクチュエータ技術では困難とされてきた、ミリ長レンジの超長ストロークを低消費電力で達成する熱駆動MEMSアクチュエータの開発に成功しました。切り紙構造を生かした独自の熱機械設計によって、ミリ長レンジの多自由度動作を低消費電力で実現しています。
