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BOOTH -

マイクロレンズ用ナノ研磨システム

ナノ・マテリアル・ものづくり・ロボット・システム

小型光学部品およびマイクロレンズアレイの最終仕上げ用非接触ナノ研磨システム。柔軟な機構を用いて小型チップを3Dで操作し、せん断応力増粘液を動かすことで、自由曲面の研磨を可能にします。

理工学部システムデザイン工学科准教授