環境大気中に浮遊する粒子はイオンと衝突して電荷を帯びます。この帯電粒子が半導体に付着すると、静電気でホコリを集め、基板の損傷につながります。その影響を調べるためには、大気中の帯電粒子の挙動を理解する必要があります。本展示では平行電極板を用いた計測法や個別粒子分析、帯電粒子の観測について紹介します。
