走査型プローブ顕微鏡を用いると、物質表面の構造を単原子・単分子のスケールで見ることができます。しかし工業的に利用されるナノ材料の高分解能観察は難しいとされています。その弱点を克服する顕微鏡装置の開発の現状と、最新の観察結果を紹介します。